高真空出料泵的腐蝕類型不同，產生的損壞形式也不一樣。常見、主要的腐蝕類型是濕腐蝕。
局部腐蝕
與其相反的局部腐蝕，則是指發生在金屬表面各個局部的腐蝕。其根源是由于形成溶解度不同的腐蝕產物從而導致的局部不同的腐蝕負荷（溫度、濃度、流速等）。
均勻腐蝕
均勻腐蝕是發生在高真空齒輪泵金屬表面全部或大部分的腐蝕率相同的腐蝕。
點蝕
點蝕是一種受限于電化學、局部的、導致形成點狀空穴的材料腐蝕。其根源在于存在腐蝕因素，主要是氯化物。點蝕現象在不銹鋼和鋁合金上尤為嚴重。
接觸腐蝕（電偶腐蝕）是因為金屬之間的腐蝕電極電位不同，形成腐蝕因素而發生的。期間，電極電位較低的金屬（陽極）溶解速度加快，電極電位高的金屬則成為陰極反應面。腐蝕速度由腐蝕電極電位之差和兩個反應面的比率決定。當腐蝕電極電位差別很大時，如果陽極面積很小，而陰極面積很大，則是極為不利的。
縫隙腐蝕
縫隙腐蝕是發生在同類金屬之間或金屬和非金屬之間的狹窄縫隙。因為氯化物增加或形成氧化層的氧氣減少，從而產生腐蝕因素。
石墨化腐蝕
石墨化腐蝕是一種灰鑄鐵中因防護層不不足導致金屬成分溶解的選擇性腐蝕。后只剩下初形狀的、充滿腐蝕產物的石墨框架。
晶間腐蝕
晶間腐蝕是指晶粒邊界發生的優先腐蝕。不銹鋼中，由于碳向晶粒邊界擴散，導致貧鉻，從而引發晶間腐蝕。這種腐蝕類型會導致晶粒的迅速衰變。脫鋅或脫鋁
脫鋅或脫鋁是有色金屬因為金屬鋅或鋁的選擇性腐蝕引起的。
選擇性腐蝕
選擇性腐蝕是一種某些晶界成分或者合金成分優先腐蝕的腐蝕類型。選擇性腐蝕的形式有石墨化腐蝕、晶間腐蝕、脫鋅和脫鋁等。
靜態腐蝕
靜態腐蝕是在不流動的液體中發生的腐蝕，這種腐蝕只發生在設備停止運轉期間。
微生物腐蝕
微生物腐蝕是一種受微生物影響的腐蝕，例如硫酸鹽還原細菌。
摩擦腐蝕
摩擦腐蝕是指因機械摩擦導致表面層或鈍化層受損從而受到腐蝕介質影響的腐蝕。
應力腐蝕
應力腐蝕是指金屬在承受各種拉載荷時因具體腐蝕介質影響而出現裂紋的現象，在這個過程中，材料無明顯腐蝕產物，脆性斷裂。
侵蝕-腐蝕
侵蝕-腐蝕是機械表面剝蝕和腐蝕的交互作用，在這個過程中，因為防護層受到破壞而產生剝蝕，剝蝕的后果是腐蝕。
空蝕
空蝕是指空化和腐蝕的交互作用，在這個過程中，由于防護層受到局部空化破壞，從而導致并加快了腐蝕。
腐蝕疲勞
腐蝕疲勞是指金屬由于機械交變載荷與腐蝕交互作用所造成的低變形、大多跨晶粒斷裂的現象。
